产品中心
products center
单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。单晶硅棒是在工业生产中使用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。其主要指标有少子寿命，氧含量等等。单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料。
| 项目 | 技术参数 | |
|---|---|---|
| 边长 | 166mm±0.25mm / 182.2mm±0.25mm | 166mm±0.25mm / 182.2mm±0.25mm |
| 直径 | 223mm±0.25mm / 247mm±0.25mm | 223mm±0.25mm / 247mm±0.25mm |
| 垂直度 | 90℃±0.2 | 90℃±0.2 |
| 晶向 | <100>±3° | <100>±3° |
| 粗糙度 | Ra≤0.3um | Ra≤0.3um |
| 斜面 | ≤1mm | ≤1mm |
| 电阻率 | 0.4-1.6Ω·cm | 0.4-1.1Ω·cm |
| 少子寿命 | ≥800μs（BCT-400） | ≥70μs（BCT-400） |
| 氧含量 | ≤6.0 X1017atoms/cm³ | ≤6.0 X1017atoms/cm³ |
| 碳含量 | ≤0.5 X1017atoms/cm³ | ≤0.5 X1017atoms/cm³ |
| 生长方法 | CZ 直拉法 | CZ 直拉法 |
| 导电型号/掺杂剂 | N/掺磷 | P/掺稼 |
